小型微細位置決めステージには、X、XY、および XYZ 構成があります

Oct 16, 2023

詳細については、http://www.pi-usa.us をご覧ください。

PI のコンパクトな M-110、M-111、および M-112 ミニチュア リニア ステージ ファミリは、限られたスペースでの精密な位置決め、位置合わせ、微動アプリケーション向けに設計されています。

マサチューセッツ州オーバーン - PI の M-110、M-111、および M-112 ミニチュア リニア ステージ ファミリは、解像度が 0.05 ミクロン (50 ナノメートル) までの高解像度と再現性が必要な微細位置決めアプリケーション向けに設計されています。 位置エンコーダを備えた閉ループ サーボ モータと経済的なステッピング モータが利用可能で、親ねじドライブとボールねじドライブも選択できます。 移動範囲は 5mm、15mm、25mm です。